探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

　　半導體測試可以按生產流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。除探針臺外，晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。

　　探針臺由哪些部分組成？

　　1.樣品臺（載物臺）

　　載物臺是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精密移動定位功能。克洛諾斯科技自主研發的超精密氣浮運動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設備，重復定位精度達±50納米，可以依靠精密機械運作在*短的曝光時間內完美定位，完成晶圓在量測端的*精密的檢測。

　　克洛諾斯氣浮運動平臺特點：

　　01超精度設計；

　　02重復定位精度±50nm；

　　03Y軸雙驅雙龍門結構，承載能力強；

　　04可選光柵或激光干涉儀位置反饋。

　　快速移動！精準進行位移調節！

　　2.光學元件

　　這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便*地將探針尖端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。

　　3.卡盤

　　有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。

　　探針臺如何工作？

　　探針臺可以固定晶圓或芯片，并*定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖端都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。

　　對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到*的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。

　　探針臺的作用是什么？

　　探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。

　　晶圓檢測是半導體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓探針臺和探針來進行晶圓檢測也很重要。克洛諾斯*新自主研發的超精密氣浮運動平臺具有*高精度和運動穩定性，讓系統在快速運行時，能準確識別和測量出晶圓的種種缺陷，大大提高晶圓檢測效率。